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传感器两侧的支架是开放的,以防止不均匀的压力变化。一个常见的应用是原子层沉积(ALD)。
| 通用规范 | |
| 兼容性 | 兼容所有QSense传感器,QSense Explorer, Analyzer和Pro |
| 最大压力 | 没有限制 |
| 测量类型 | 真空和高压室中的气体测量 |
| 最高温度 | 250°C |
| 暴露在液体中的物质 | 不锈钢(座圈)、麦柯(座)、铝(座)、卡普顿(电缆) |
| 维 | 高度:5毫米;宽度:24毫米;深度:32mm |
| 电缆长度 | 电子单元到真空/高压室:80厘米。真空/高压室到ALD支架:1米 |
| 其他 |
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| 需要客户安装/调整。 | |
| 附带2根电缆:一根连接ALD支架到真空或高压室内部,一根连接到QCM-D电子单元。 | |
| 螺丝孔,使安装在真空/高压室。 |
